- 發(fā)表時間2018-07-27
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微波等離子體是在大氣壓環(huán)境下產(chǎn)生的一種微等離子體，它被廣泛應用于氣相色譜中原子發(fā)射光譜激發(fā)源。微波帶技術(shù)的使用不僅可以將微波指向間隙區(qū)，同時也減少了不必要的外空間輻射損失，有利于耦合效率的提高，從而獲得高密度等離子體。
那么微波等離子體的優(yōu)勢有哪些呢？
1.有較高的電離和分解程度；
2.電子溫度和離子溫度對中性氣體溫度之比非常高，運載氣體保持合適的溫度。這個特性，在氣相沉積的情況下，可使基底的溫度不會過高；
3.能在高氣壓下維持等離子體；
4.沒有內(nèi)部電極，在等離子容器內(nèi)，沒有工作氣體以外的任何物質(zhì)，是潔凈的，無污染源。等離子發(fā)生器可以保持長壽命；
5.等離子可以采用磁約束的方法，約束在約定的空間內(nèi)，微波結(jié)和磁路可以兼容；
6.安全因素高。高壓源和等離子體發(fā)生器互相隔離，這是直流等離子體不能達到的。微波泄漏小，容易達到輻射安全標準。這是高頻感應等離子體難以達到的；
7.微波發(fā)生器是穩(wěn)定的，易控的；
8.微波等離子體，在許多情況下是一種比較寧靜的等離子體，不象直流放電那樣伴隨很高的噪聲級。
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